微电子机械加工技术，包括体微新型传感器和液位开关的特点机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术（X光深层光刻、微电铸和微复制技术）、激光微加工技术和微型封装技术等。
。新型传感器的特点是微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统工业的改造，而且可导致建立新型产业，是21世新型传感器和液位开关的特点纪新的经济增长点。（注：MEMS技术还完成了微电念头或执行器等产品，将另作文先容）网络化方面，目前主要是指采用多种现场总线和以太网（互联网），这要按各行业的特点，选择其中的一种或多种，近年内最流行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。 MEMS的发展，把新型传感器和液位开关的特点传感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平进步到了新的高度。
近年来，传感器正处于传统型向新型传感器转型的发展阶段。传感器的检测仪表，在微电子技术基础上，内置微处理器，或把微传感器和微处理器及相关集成电路（运算放大器、A/D或D/A、存贮器、网络通信接口电路）等封装在一起完成了数字化、智能化、新型传感器和液位开关的特点网络化、系统化。微型化是建立在微电子机械系统（MEMS）技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器（如上述EJX变送器）。

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